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ACスポンジSP

精密洗浄用スポンジ

    ■ 主な用途
  • CMPの洗浄
  • シリコンウェハーの洗浄
  • 液晶ディスプレイ用基板の洗浄
  • フォトマスクの洗浄
  • 電子材フィルム等の洗浄
    ■ 特　長
  • 柔軟で弾力性のある円筒状突起部により、パーティクルを効率良く除去し、ワークを傷つけることはありません。
  • 超純水の使用のみで、優れた洗浄効果を得ることができます。
  • 連続多孔質構造の為、吸水性に優れ、突起部の形状や配列設計によって洗浄ムラを解消します。
  • ユーザー様の仕様に合わせた突起部の形状、配列の設計が可能です。
■ 製品形状
  • ローラータイプ
    使用例を見る
    傷つきやすい製品にも、ダメージを与えることなく微細なパーティクルを取り除くことができます。
    ■ 製品規格
    （単位：mm）
    No A
    突起部間
    外径    		 B
    スポンジ部
    外径    		 C
    内 径    		 D
    面 長
    1 32 25 12 250
    2 38 31 18 350
    3 48 40 26 350
    4 60 51 32 350
    5 70 60 32 350
    6 76 67 26 500
    7 89 77 26 500
    8 106 94 60 500
    製品の内径、面長、突起部の直径及びピッチにつきましては、ご相談下さい。
    ※形状やサイズはカスタマイズ可能です。
  • シートタイプ
    製品になめらかにフィットします。
    ■ 製品規格
    （単位：mm）
    No A
    タテ    		 B
    ヨコ    		 C
    厚さ（突起部含む）
    1 150 250 8
    2 150 250 12
    3 150 250 24
    突起部の直径及びピッチにつきましてはご相談下さい。※形状やサイズはカスタマイズ可能です。
  • 異形タイプ
    ■ 製品規格
    目的や用途に応じた、様々な仕様の洗浄用スポンジにご対応させていただきます。